再进行等静压成型的两步成型方式能够得到密度更大、更均匀的***预制坯。步骤s140:将***预制坯以℃/min~℃/min的速率升温至900℃,保温2h~4h,进行排胶。具体地,排胶过程在真空排胶炉中进行。通过上述排胶过程能够除去***预制坯中的粘结剂、分散剂等有机物质。步骤s150:将***预制坯与第二碳源混合加热,使第二碳源呈液态,然后加压至3mpa~7mpa,得到第二预制坯。具体地,第二碳源包括石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种。在本实施方式中,第二碳源与***碳源可以相同,也可以不同。具体地,步骤s150包括:将***预制坯与第二碳源在280℃~340℃下加热1h~3h,然后抽真空1h,再加压至3mpa~7mpa,得到第二预制坯。其中,加压介质为氮气或氩气。在加压条件下能够使第二碳源渗入***预制坯的孔隙中,减少孔隙大小和数量。***预制坯的密度相对较低,有较多的孔隙,如不进行继续处理,则反应烧结后会有较多、较大的游离硅,这会**降低反应烧结碳化硅的性能,而使用上述高温压力浸渗的方式二次补充碳源,第二碳源能够渗入***预制坯的孔隙中,从而能够减少预制坯的孔隙大小和数量,减小游离硅尺寸和数量,提高**终产品性能。我们材料加工完更平整、不易变形。安徽PC半导体与电子工程塑料零件定制加工加工件
所述***分散剂和所述第二分散剂相互独立地选自四甲基氢氧化铵、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸铵、丙烯酸钠、聚乙烯醇及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种;及/或,所述粘结剂包括酚醛树脂、环氧树脂、聚乙烯醇、羧甲基纤维素钠、丙烯酸及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种;及/或,所述碳化硅微粉的粒径为μm~μm;及/或,所述稀土元素包括钇、钕、铈、镧及钐中的至少一种。一种碳化硅陶瓷,由上述碳化硅陶瓷的制备方法制备得到。一种半导体零件,由上述碳化硅陶瓷加工处理得到。上述碳化硅陶瓷的制备方法先采用金属的氯化物、环氧丙烷、***分散剂和***溶剂与碳化硅微粉混合,金属元素的氯化物在环氧丙烷的作用下沉淀,然后在真空条件、700℃~900℃下进行加热处理,使金属元素的氯化物转化为氧化物,并均匀沉降在碳化硅微粉表面,具有促进烧结、降低气孔率的作用,从而提高碳化硅陶瓷的力学性能,相较于传统的制备方法中将金属元素的氧化物直接与碳化硅微粉及分散剂、粘结剂等混合,能够使稀土元素的分布更均匀。另外,将***预制坯与第二碳源混合加热,液态的第二碳源在3mpa~7mpa的压力条件下浸渗入***预制坯的孔隙中,降低了孔隙率,从而提高了碳化硅陶瓷的力学性能。因此。江西FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工特质生产过程保证产品的质量。
所述奥氏体不锈钢具体可以是316l不锈钢,即,驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为316l不锈钢。本实用新型将现有技术中旋转件常用的304不锈钢材料替换为316l不锈钢,使得旋转件在强度几乎不变的同时,电阻率***降低,从而保证了工艺盘组件运动的流畅性。进一步推荐地,传动筒4的外凸台结构42与轴承座10之间的轴承材料也采用奥氏体不锈钢(推荐为316l不锈钢)。作为本实用新型的第二个方面,还提供一种半导体设备,包括工艺腔和工艺盘组件,其中,工艺盘组件为上文中描述的工艺盘组件,工艺盘组件的工艺盘01设置在工艺腔中。在本实用新型提供的半导体设备中,驱动连接部310为非圆柱体,驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔,驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2,从而能够在工艺盘组件进行变速运动时,避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度,进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度,并提高了工件的放置精度。可以理解的是,以上实施方式**是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言。
附图标记说明01:工艺盘1:工艺盘转轴2:驱动衬套210:***衬套部211:驱动通孔211a:避让槽220:第二衬套部221:轴通孔222:定位凸起3:驱动轴310:驱动连接部320:驱动轴体部311:定位平面312:圆柱面4:传动筒41:内凸台结构42:外凸台结构43:挡环槽5:密封衬套6:波浪管7:挡环8:调平件9:传动架91:传动法兰92:法兰连接件10:轴承座101:上法兰102:下法兰11:升降机构12:电机13:定位块具体实施方式以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式*用于说明和解释本实用新型,并不用于限制本实用新型。本实用新型的发明人在实验中发现,工件在工艺盘上出现摆放位置偏移的问题是工艺盘与相应的旋转传动组件之间出现滑移导致的。发明人在进行过大量实验研究后发现,在现有的半导体设备中,为了实现向工艺盘传递扭矩,通常采用圆柱面摩擦传动的方式带动,而正是该摩擦传动方式使得传动件的摩擦面长时间发生相对转动,导致配合面发生摩擦磨损,进而影响了对位精度。因此,为解决上述技术问题,作为本实用新型的***个方面,提供一种半导体设备中的工艺盘组件,如图1至3所示,工艺盘组件包括工艺盘01和工艺盘转轴1。磨削、铣削、钻孔、车削和制造都可以很好地运用在半导体零件加工上。
所述***衬套部的外径小于所述第二衬套部的外径,所述定位凸起形成在所述第二衬套部的外壁上,且所述第二衬套部与所述工艺盘转轴的安装孔相配合。推荐地,所述工艺盘组件还包括传动筒,所述驱动轴和所述驱动衬套设置在所述传动筒内,且所述驱动轴背离所述工艺盘转轴的一端与所述传动筒固定连接,所述传动筒用于带动所述驱动轴转动。推荐地,所述工艺盘组件还包括密封衬套,所述密封衬套环绕设置在所述传动筒的外壁上;所述工艺盘组件还包括挡环,所述传动筒的外壁上形成有挡环槽,所述挡环环绕所述传动筒设置在所述挡环槽中,所述挡环的外径大于所述密封衬套朝向所述工艺盘一端的内径。推荐地,所述工艺盘组件还包括调平件,所述传动筒的内壁上形成有内凸台结构,所述内凸台结构环绕传动筒的内壁设置,所述调平件与所述驱动轴固定连接,且沿轴线方向分别设置在所述内凸台结构的两侧,以将所述内凸台结构夹持在所述调平件与所述驱动轴之间,所述调平件能够调整其自身与所述传动筒之间的角度。推荐地,所述驱动轴与所述工艺盘转轴中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。作为本实用新型的第二个方面,还提供一种半导体设备,包括工艺腔和工艺盘组件,其中。我们有能力为您研发并生产所需的各种零件。环保半导体与电子工程塑料零件定制加工特质
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塑胶材料项目投资立项申请报告.***章项目基本情况一、项目概况(一)项目名称塑胶材料项目(二)项目选址某某产业示范园区项目属于相关制造行业,投资项目对其生产工艺流程、设施布置等都有较为严格的标准化要求,为了更好地发挥其经济效益并综合考虑环境等多方面的因素,根据项目选址的一般原则和项目建设地的实际情况,该项目选址应遵循以下基本原则的要求。(三)项目用地规模项目总用地面积(折合约)。(四)项目用地控制指标该工程规划建筑系数,建筑容积率,建设区域绿化覆盖率,固定资产投资强度。(五)土建工程指标项目净用地面积,建筑物基底占地面积,总建筑面积,其中规划建设主体工程,项目规划绿化面积。(六)设备选型方案项目计划购置设备共计139台(套),设备购置费。(七)节能分析1、项目年用电量,折合。2、项目年总用水量,折合。3、“塑胶材料项目投资建设项目”,年用电量,年总用水量,项目年综合总耗能量(当量值)。达产年综合节能量,项目总节能率,能源利用效果良好。(八)环境保护项目符合某某产业示范园区发展规划,符合某某产业示范园区产业结构调整规划和国家的产业发展政策;对产生的各类污染物都采取了切实可行的治理措施。安徽PC半导体与电子工程塑料零件定制加工加工件